1. 装配式洁净厂房的全部维修构件在工厂内按统一模数及系列加工完成,动物房洁净车间造价,适于批量生产,质量稳定,供货迅速;
2. 机动灵活,即适合在新建厂房配套安装,也适宜老厂房的净化技术改造。维修结构也可随工艺要求任意组合,拆卸方便;
3. 需要辅助建筑面积较小,对土建筑装修要求低。
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a.磨损、切削均为发生微尘之原因,故需将发尘部分掩盖之。
b.易产生尘埃之设备,若能的话应布置于风尾地点。
c.在操作时,尽量减少接触零件或产品。
d.不得有太大或不必要的操作动作,以免卷起附近之灰尘。
e.各项厂务设施之供应如水、气体和化学品于进入生产设备前应有过滤设备。
f.为不使气体或液体滞留,造成微污染,故管路配置应有旁路阀之设置。
3.自动化与无尘化:
a.设立自动化传送系统,可减少人员方面所带来的污染,唯费用相当昂贵,须详加评估。
b.建立管制项目如进入无尘室人员的资格限定,无尘室作业人员作业规则,无尘室管理规则等。
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1 半导体制造业必须在洁净的环境中进行,在施工中必须遵循行业规则和程序。本文件列出了这些规则和程序的概要。为了***项目的成功,现场的每一位人员都必须遵守。
2 图纸上对于施工的洁净建设草案将被强制执行。这包括除了原料和成品仓库以外的所有主厂房内的地方。
3 洁净室施工管理制度目前主要针对一期主厂房内的局部改造和扩建,后期所有洁净室施工项目仍按照本制度规定的原则进行管理。
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