*** 14644的本部分***分级的各级别,以此作为洁净室及相关受控环境内空气洁净度的技术要求.本部分不仅确定了空气中悬浮粒子测试的程序,而且确定了测试的标准方法.
为划分等级,*** 14644的本部分于确定粒子浓度限值用的粒径范围.本部分还提供了标准协议,阳性对照无尘室企业,以依据大于或小于分级用粒径范围的悬浮粒子浓度等级标识.
*** 14644的本部分为无尘车间和污染控制系列标准中的一个标准.除悬浮粒子洁净度之外,还有许多因素必须在洁净室及其受控环境的设计、技术要求、运行和控制中予以考虑.
1.生产设备之选择、布置与保养:
a.要选用发尘性较少的生产设备及相关设备,尤其须注意活动部分之发尘。
b.应选择尘埃之影响较小的生产设备或接口设备。
c.生产用之水、气体、药品等往往是造成污染的原因,故应配备过滤装置。
d.规划各设备之配置空间时,事先宜考虑不易积累微尘之结构,规划各并以容易清洁为原则。
e.真空泵等容易产生污染物的这类设备,应设置在无尘室外面或回风区,并加装排气管线排气。
f.设置给水管线、气体管线和电气系统时,其构造须考虑到容易清洁,不易积累污染物。
g.生产及相关设备应定期清扫,以避免微尘之堆积。
h.应加强注意室内的温湿度控制,避免因湿度之不当造成结露生锈。
i.当设备维修时易产生微尘粒子,故维修时尽量于清洁室外进行,并加隔离栅隔离。
j.对于施工或维修之厂商,应告知进出无尘室之各项规定,且负责工程师应随侍在侧监工。
k.应有无尘室专用工具组,但不得带出无尘室外使用。
l.规划空间时若能临近无尘室设立一间维修和设备保养手册置放室,将是一理想之规划。
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1.电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。
2.电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa
3.电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的大值:
4.补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
5.***供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40㎡。
无尘室的送风量,应取下面三项大值:
●***电子制造厂无尘室空气洁净度等级的送风量:
●根据热,湿负荷计算确定电子厂洁净室的送风量:
●向电子制造厂洁净室内的供给的新鲜空气量:
这类洁净室(区)有电气、电子生产洁净室、电子计算机洁净室、半导体工业洁净室等等。我司对这类洁净室的设计、施工有一定的技术水平,在净化通风空调工程、公用动力系统、电气工程、照明、电信、消防工程、动力设备安装工程、彩钢板围护工程等均能够均能做较高水平的施工。后期的调查,业主反映由我司建造(改造)的电子洁净室(区)生产出的产品合格***达99.98%。
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